小型分析探針臺(tái)

型號(hào)

SM-4

SM-6 mini

SM-6

外形

400mm長(zhǎng)*400mm寬*550mm高

400mm長(zhǎng)*400mm寬*550mm高

680mm長(zhǎng)*530mm寬*550mm高

重量

約30KG

約35KG

約45KG

電力需求

220VC,50~60Hz

樣品臺(tái)

尺寸

4英寸，可360度旋轉(zhuǎn)

6英寸，可360度旋轉(zhuǎn)

6英寸，可360度旋轉(zhuǎn)

X-Y行程

4*4英寸

4*4英寸

6*6英寸

移動(dòng)精度

10um

樣品固定方式

真空吸附

背電極測(cè)試功能

有，樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空

針座平臺(tái)

U型平臺(tái)，多可放置6個(gè)針座

U型平臺(tái)，多可放置8個(gè)針座

光學(xué)特性

顯微鏡行程

可360度旋轉(zhuǎn)，Z軸：50.8mm

放大倍數(shù)

16~100X  （200X可選）

CCD像素

50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）

點(diǎn)針規(guī)格

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm

機(jī)械精度

10微米/2微米/0.7微米

漏電精度

10pA/100fA     （配置屏蔽箱時(shí)）

接口形式

香蕉頭/鱷魚(yú)夾/同軸/叁軸接口

可選附件

加熱臺(tái)

光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試選件

屏蔽箱

射頻測(cè)試附件

轉(zhuǎn)接頭

有源探頭

防震臺(tái)

低電流/電容測(cè)試選件

鍍金卡盤(pán)

兼容積分球測(cè)試選件

同軸/三軸卡盤(pán)

光纖夾具耦合測(cè)試選件

樣品臺(tái)快速升降，微調(diào)升降裝置選件

PCB/封裝夾具測(cè)試選件

樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)微調(diào)選件

特殊定制

應(yīng)用方向

芯片及LD/LED/PD測(cè)試，PCB/封裝器件測(cè)試，射頻測(cè)試等。

特點(diǎn)

緊湊的結(jié)構(gòu)

同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)

輕巧的質(zhì)量

無(wú)回程差設(shè)計(jì)

實(shí)惠的價(jià)格

10微米以上電極/PAD測(cè)試

高等院校/研究所實(shí)驗(yàn)室使用

LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試

可用于6英寸以內(nèi)樣品測(cè)試

材料/器件的IV/CV特性測(cè)試