低溫等離子裝置是利用離子發(fā)生器產生的高能等離子、電離、裂解廢氣中的各種成份，從而發(fā)生一系列復雜的化學反應，將有害物轉化為潔凈的無害的物質達標排放至大自然。

氣體經過等離子處理裝置的反應器區(qū)域時，在高能電子和自由基強氧化等多重作用下，氣體中的有機物分子鏈被斷開，發(fā)生一系列復雜的氧化還原反應，生成 CO2、H2O 等無害物質，正負離子可以清新空氣。另外，借助等離子體中的離子與物體的凝并作用，可以對有機廢氣中小至亞微米級的細微顆粒物(0.1-3 微米)進行有效的收集去除。