產(chǎn)品名稱(chēng): 高純度水冷臭氧發(fā)生器

型號(hào)系列:OG-5000系列

品牌:Teledyne API

產(chǎn)地:美國(guó)

價(jià)格:**終成交價(jià)格需聯(lián)系客服

訂貨號(hào):OG-5000系列

 OG-5000系列臭氧發(fā)生器是為滿足半導(dǎo)體工業(yè)中對(duì)高濃度潔凈臭氧的需求而設(shè)計(jì)的，可應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長(zhǎng)和濕法處理過(guò)程中。

OG-5000系列設(shè)計(jì)緊湊，使用水冷系統(tǒng)，能夠簡(jiǎn)便的整合進(jìn)TAPI的臭氧系統(tǒng)控制器、臭氧泄露探測(cè)器、臭氧濃度監(jiān)測(cè)器和臭氧破壞器中。該儀器經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的技術(shù)使得它可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體流程中。??

 

高純度臭氧

高臭氧濃度

價(jià)格低

無(wú)消耗品

設(shè)計(jì)緊湊，模塊化

經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的技術(shù)

半導(dǎo)體

化學(xué)氣相沉積 (CVD)

原子層沉積 (ALD)

氧化物生長(zhǎng)

表面處理

粒子清潔

光刻膠去除

灰化

其他