找商網手機端：m.zhaosw.com
北京瑞邦精控科技有限公司
主營產品： 氣浮位移臺
憩憦憩憨憤憫憫憦憥憧憬
掃一掃 
掃一掃添加商家
收藏 
瑞邦精控RBN-Z-CG系列精密Z軸
價格
訂貨量(臺)
面議
≥1
店鋪主推品 熱銷潛力款
聯(lián)系人 王欣悅 
掃一掃添加商家
憩憦憩憨憤憫憫憦憥憧憬
發(fā)貨地 北京市順義區(qū)
在線客服
商品參數(shù)
|
商品介紹
|
聯(lián)系方式
品牌 瑞邦精控
種類 交叉滾柱
應用 測試測量
定制化 可以定制
產品特點 緊湊式直驅結構
商品介紹
產品特點
l ? 緊湊式直驅結構 ? 重復定位精度±75nm
l ? 抗蠕動交叉滾柱導軌 ? 直線度和平面度±0.5μm
l ? 微動步距≤20nm ? 結構、行程可定制
應用領域
RBN-Z-CG系列是一款高精度的精密Z軸，亞微米級重復定位精度，高動態(tài)性能，結構緊湊，用于晶圓加工及檢測、飛秒激光加工、光學制造和檢測、光纖對準和科研等領域。
結構特點
RBN-Z-CG系列精密Z軸側掛在龍門橫梁上使用，可與其它軸組成多軸系統(tǒng)。直驅結構，在低速時保持平穩(wěn)，在高速時不產生振動。抗蠕動交叉滾柱導軌，滾柱間線接觸，比滾珠接觸面積大，交叉排列，多方向受力穩(wěn)定，該結構可以把Z軸厚度降低，有利于行業(yè)應用。
精度性能
非接觸式光柵閉環(huán)反饋，考慮熱膨脹和材料等影響，這種緊湊結構設計，搭配高性能控制系統(tǒng)，獲得高重復定位精度，重復定位精度±25nm，直線度和平面度±0.5μm，是高精度場所的理想選擇。
微動步距
對有微動步距要求的應用領域，如對準應用，微動步距≤20nm，對現(xiàn)場使用環(huán)境的要求，更多細節(jié)可聯(lián)系瑞邦精控。
定制化
根據(jù)應用可定制行程、配置大理石基座、立柱、橫梁和隔振臺等整套系統(tǒng)方案。
規(guī)格指標
單位 | RBN-50Z-CG | RBN-100Z-CG | RBN-200Z-CG | ||
行程 | mm | 50 | 100 | 200 | |
補償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 |
標準值 | ±0.3 | ±0.3 | ±0.3 | ||
雙向重復定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.025 | ±0.05 | ±0.075 |
標準值 | ±0.05 | ±0.1 | ±0.15 | ||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.25 | ±0.35 | ±0.5 |
標準值 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 |
標準值 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ||
Pitch Roll (2) | Plus (1) | arc sec | ±1 | ±2 | ±3 |
標準值 | ±5 | ±5 | ±7 | ||
Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±1 | ±1 | ±2 |
標準值 | ±2.5 | ±2.5 | ±5 | ||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | |||
最大速度 (空載) (4) | mm/s | 100 | 200 | 200 | |
最大負載 | kg | 15 | |||
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±1℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-E，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環(huán)境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. Plus為高精度指標，是標準值的升級版。
2. 取決于平臺安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數(shù)。
4. 空載條件下指標，最大速度和加速度取決于負載大小。
聯(lián)系方式
公司名稱 北京瑞邦精控科技有限公司
聯(lián)系賣家 王欣悅 
（QQ：490748999）
（QQ：490748999） 手機 憩憦憩憨憤憫憫憦憥憧憬
地址 北京市順義區(qū)
聯(lián)系二維碼
王欣悅
憩憦憩憨憤憫憫憦憥憧憬
掃碼查看 掃碼查看
手機掃碼 快速查看
在線客服 
